光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。它可以埃级分辨率对表面进行高分辨率测量。该系统支持相位和垂直扫描干涉测量，两者都是传统的相干扫描干涉技术（CSI）。本产品进一步扩展了这些技术，它采用SMART Acquire为新手用户简化了程序设置，并且采用z-stitching干涉技术可以对大台阶高度进行高速测量。
光学轮廓仪测量技术的优势在于测量的垂直分辨率与物镜的数值孔径无关，因而能够在大视野范围内进行高分辨率测量。测量区域可以通过将多个视场拼接为同一个测量结果而进一步增加。产品的用户界面创新而简单，适用于从研发到生产的各种工作环境。
光学轮廓仪的主要应用：
1、台阶高度：纳米到毫米级别的3D台阶高度；
2、纹理：平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波纹度；
3、外形：3D翘曲和形状；
4、应力：2D薄膜应力；
5、薄膜厚度：30nm到100μm透明薄膜厚度；
6、缺陷检测：捕获大于1μm的缺陷；
7、缺陷复检：采用KLARF文件作为导航以测量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置。
仪器特性：
1、大视场下高的垂直分辨率；
2、从0.5x到200x不同放大倍率实现不同面型和织构表面的表征；
3、硬件的优化设计进一步的仪器抗噪声能力、系统灵活性和测量稳定性；
4、激光自校准技术使得仪器间测量数据一致，保证测量的重复性和准确性；
5、优异的缝合能力可以对上千个数据无缝拼接，实现样品大面积检测；
6、多核处理器和64位软件使数据分析速度提高十倍以上。
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