影响纳米压痕试验的因素有哪些？

纳米压痕技术也称深度敏感压痕技术，是测试材料力学性质的方法之一，可以在纳米尺度上测量材料的各种力学性质，如载荷-位移曲线、弹性模量、硬度、断裂韧性、应变硬化效应、粘弹性或蠕变行为等。可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性薄膜等等。

影响纳米压痕试验的因素很多，主要影响因素可归纳为以下几种：

1.接触零点的确定

2.力和位移的测定包括环境波动的影响和磁场强度所引起的变化

3.卸载曲线的拟合

4.热漂移速率

5.由于表面粗糙度引起的接触面积变化

6.力,位移的校准值

7.试验设备的柔度

8.压头面积函数的校准值

9.由于试验设备的温度和最后一次校准后时间不确定度引起的校准漂移

10.试样表面与压入方向的不垂直度。