光学轮廓仪是一种全自动测量设备。操作员只需安装被测工件，在验证软件上设置扫描的开始和结束位置，点击“开始”按钮，测量针就会自动接触工件表面并根据设置的位置进行扫描；在轮廓扫描过程中，软件界面会实时绘制轮廓曲线；扫描后，操作员可以通过轮廓分析工具分析生成的轮廓曲线，以获得直线度、圆度、角度、距离、间距等轮廓参数。
光学轮廓仪应该怎么用
轮廓仪建立在移相干涉测量(PSI)、白光垂直扫描干涉测量(VSI)和单色光垂直扫描干涉测量(CSI)等技术的基础上，以其纳米级测量准确度和重复性(稳定性)定量地反映出被测件的表面粗糙度、表面轮廓、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征等。广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域。
轮廓仪的优势：
1、美国硅谷研发的合心技术和系统软件；
2、关键硬件采用美国、德国、日本等品牌；
3、PI纳米移动平台及控制系统；
4、Nikon干涉物镜；
5、NI信号控制板和Labview64 控制软件；
6、TMC光学隔振台；
7、测量准确度重复性达到先进水平。
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