纳米压印机可制成图案12英寸的肖特RealView玻璃晶圆

　　EV集团（EVG）是面向MEMS，纳米技术和半导体市场的晶圆键合机和 纳米压印机的先进供应商，今天宣布，它已与先进的技术集团之一的肖特（SCHOTT）合作在特种玻璃和玻璃陶瓷领域，证明了12英寸纳米压印光刻技术（NIL）已准备好用于制造波导/光的高折射率（HRI）玻璃晶片的大量图案下一代增强/混合现实（AR/MR）耳机指南。

　　此次合作涉及EVG公司专有的SmartNIL纳米压印工艺和SCHOTT的RealView高折射率玻璃晶片，并且将EVG的NILPhotonics内开展在公司的总部设在奥地利的能力中心。肖特将在9月4日至7日在深圳会议中心举行的CIOE上展示采用EVG的SmartNIL纳米压印技术制成图案的12英寸肖特RealView玻璃晶圆。

　　“扩大规模到12英寸的高折射率玻璃晶圆制造对于实现规模经济至关重要，这是我们的客户需要满足当今和未来AR/MR设备不断增长的市场需求的规模经济的关键。”肖特增强现实技术负责人Ruediger Sprengard。“通过双方的共同努力，EVG和肖特正在展示当今12英寸HRI玻璃制造的设备和供应链准备情况。”

　　迄今为止，使用NIL图案化具有光子学应用结构的玻璃基板的方法仅限于8英寸基板。向AR/MR头戴式耳机进入大众消费市场和工业市场的重要一步是向12英寸晶圆加工的过渡。然而，在这些较大的基板上维持高基板质量和工艺均匀性是难以控制的，并且需要先进的自动化和工艺控制能力。EVG的SmartNIL技术是解决纳米图案需求的多年研究，开发和现场经验的结果，并且经过实践证明，可以轻松地从芯片级样品尺寸一直扩展到大面积基板。去年6月，EVG推出了HERCULES NIL 12英寸（纳米压印机），该公司将SmartNIL纳米压印机带入12英寸制造领域，以支持多种设备和应用的生产需求，包括用于AR，MR和虚拟现实（VR）耳机的光学设备，以及3D传感器，生物医学设备，纳米光子学和等离子体。

　　Markus说：“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年，为NIL供应链中的各种合作伙伴和公司提供了一个开放式创新孵化器，以与EVG合作，以缩短创新型光子设备和应用的开发周期并缩短产品上市时间。”Wimplinger是EV Group的企业技术开发和IP总监。“我们很高兴与SCHOTT之类的公司合作，展示EVG的NIL解决方案的价值，不仅可以促进新技术和工艺的开发，还可以加快其进入大众市场的速度。我们正在与SCHOTT进行的这项最新工作证明了NIL设备和工艺的成熟，并为各种令人兴奋的基于光子学的新产品和应用的12英寸制造奠定了基础。”

　　肖特RealView高折射率玻璃晶圆是AR/MR器件的关键组件，可批量生产。该产品组合提供高达1.9的折射率，从而使深沉的AR/MR应用具有高达65度的更宽视野。经过与AR硬件制造商合作的多年研发，肖特于2018年推出了一代SCHOTT RealView。产品上市后仅一年，就赢得了享有盛誉的SID Display Industry Award 2019。