自动化高速薄膜厚度测量仪

简要描述：显示器薄膜测量仪*的光学模块可容纳所有光学部件：分光计、复合光源(寿命10000小时)、高精度反射探头。因此，在准确性、重现性和长期稳定性方面保证了优异的性能。

产品型号：FR-Scanner AIO-Mic-RΘ150
厂商性质：代理商
产品资料：
更新时间：2024-01-19
访问量：945

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详细介绍

1、FR-Scanner-AIO-Mic-RΘ150介绍

模块化厚度测绘系统平台，集成了光学、电子和机械模块，用于表征图案化薄膜光学参数。典型案例包括（但不限于）微图案表面、粗糙表面等。晶圆放置在真空吸盘上，该真空吸盘支持尺寸/直径达 300 毫米的各种晶圆，执行测量光斑尺寸小至几微米的强大光学模块。具超高精度和可重复性的电动RΘ 载物台，在速度、精度和可重复性方面具有出色的性能。

FR-Scanner-AIO-Mic-RΘ150提供：o 实时光谱反射率测量 o 薄膜厚度、光学特性、不均匀性测量、厚度测绘o 使用集成的、USB 连接的高质量彩色相机进行成像o 测量参数的统计数据* 还提供用于测量更大直径晶圆上涂层的工具（最大 450 毫米）

2、特征

o单击分析（无需初始猜测）

o动态测量

o光学参数（n & k、色座標）

o Click2Move 和图案測量位置对齐功能

o 多个离线分析安装

o 免费软件更新

3、规格

Model		UV/VIS	UV/NIR -EX	UV/NIR-HR	D UV/NIR	VIS/NIR	D VIS/NIR	NIR	NIR-N2
Spectral Range (nm)		200 – 850	200 –1020	200-1100	200 – 1700	370 –1020	370 – 1700	900 – 1700	900 - 1050
Spectrometer Pixels		3648	3648	3648	3648 & 512	3648	3648 & 512	512	3648
*Thickness range (SiO₂) 1**	5X- VIS/NIR	4nm – 60μm	4nm – 70μm	4nm – 100μm	4nm – 150μm	15nm – 90μm	15nm–150μm	100nm-150μm	4um – 1mm
	10X-VIS/NIR 10X-UV/NIR*	4nm – 50μm	4nm – 60μm	4nm – 80μm	4nm – 130μm	15nm – 80μm	15nm–130μm	100nm–130μm	–
	15X- UV/NIR *	4nm – 40μm	4nm – 50μm	4nm – 50μm	4nm – 120μm	–	–	100nm-100μm	–
	20X- VIS/NIR 20X- UV/NIR *	4nm – 25μm	4nm – 30μm	4nm – 30μm	4nm – 50μm	15nm – 30μm	15nm – 50μm	100nm – 50μm	–
	40X- UV/NIR *	4nm – 4μm	4nm – 4μm	4nm – 5μm	4nm – 6μm	–	–	–	–
	50X- VIS/NIR	–	–	–	–	15nm – 5μm	15nm – 5μm	100nm – 5μm	–
Min. Thickness for n & k		50nm	50nm	50nm	50nm	100nm	100nm	500nm	–
Thickness Accuracy 2**		0.1% or 1nm				0.2% or 2nm		3nm or 0.3%
Thickness Precision 3/4**		0.02nm				0.02nm		<1nm	5nm
Thickness stability 5**		0.05nm				0.05nm		<1nm	5nm
Light Source		Deuterium & Halogen				Halogen (internal), 3000h (MTBF)
R/Angle resolution		5μm/0.1^o
Material Database		> 700 different materials
Wafer size		2in-3in-4in-6in-8in-300mm
Scanning Speed		100meas/min (8’’ wafer size)
Tool footprint / Weight		650x500mm / 45Kg
Power		110V/230V, 50-60Hz, 350W

测量区域光斑（收集反射信号的区域）与物镜和孔径大小有关

物镜	Spot Size (光斑)
放大倍率	500微米孔径	250微米孔径	100微米孔径
5x	100 μm	50 μm	20 μm
10x	50 μm	25 μm	10 μm
20x	25 μm	15 μm	5 μm
50x	10 μm	5 μm	2 μm

4、工作原理

Principle of Operation 测量原理White Light Reflectance Spectroscopy (WLRS) 白光反射光谱是测量从单层薄膜或多层薄膜堆叠结构的一个波长范围内的反射量，入射光垂直于样品表面，由于界面干涉产生的反射光谱被用来计算确定（透明或部分透明或wan'quan反射基板上）薄膜的厚度、光学常数（N&K）等。

图片4.png

*1规格如有变更，恕不另行通知，*2与校正过的光谱椭偏仪和x射线衍射仪的测量结果匹配，*3超过15天平均值的标准偏差平均值，样品:硅晶片上1微米SiO2，*4标准偏差100次厚度测量结果，样品:硅晶片上1微米SiO2, *5 15天内每日平均值的2*标准差。样品:硅片上1微米SiO2。

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