岱美中国拿到半自动多点膜厚测量仪订单(2023,06)

该客户系湖北武汉的上市公司，是一家从事半导体工艺制程材料、半导体先进封装材料、半导体显示材料生产和研发的国家高新技术企业。公司在湖北省、长三角、珠三角广泛布局，总资产超50亿元。

Thetametrisis膜厚测量仪主要应用于客户自研自产的光刻胶涂层材料。

ThetaMetrisis的核心技术是白光反射光谱（WLRS），它可以在从几埃到毫米的超宽范围内准确测量堆叠薄膜和厚膜的厚度和折射率。

FR-Scanner为半自动测量设备，通过移动晶圆片进行整片扫描记录测量数据，具有高重复性、精确的反射率测量表现能力。薄膜从几nm到几百μm均可测量。FR-Scanner在准确性、精度、再现性和长期稳定性方面提供了出色的性能。