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掩模对准曝光机在微电子制造中的关键作用和技术发展
2024-01-17

随着微电子技术的不断进步,芯片的制造工艺也在不断演化。掩模对准曝光机作为微电子制造过程中的关键设备之一,在芯片制造中发挥着重要的作用。本文将介绍它在微电子制造中的关键作用以及其技术发展的趋势。掩模对准曝光机在微电子制造中的关键作用主要是实现...

  • 2020-11-02

    美国FSM成立于1988年,总部位于圣何塞,多年来为半导体行业等高新行业提供各式精密的测量设备。美国FSM高温薄膜应力及翘曲度测量仪特殊功能优点:1、*封闭的设计,温度更稳定。2、特殊的设计使震动偏移降到较低。3、图形式使用界面更容易使用。4、当改变弹性模数,晶圆或薄膜厚度设备会自动重新计算应力保存数据文档。5、可以计算双轴弹性模量和线膨胀系数。6、可以计算应力的均匀性。7、可以输出数据到Excel,提供给SPC分析。8、多重导向销设计,手动装载样品,有优异的重复性与再现性研...

  • 2020-10-30

    StrainScopeFlex可调式实时应力仪产品具有测量速度快、精度高、重复性好等特点,对大尺寸样品可拼接测量。其应力测量设备用户遍及*,用户包括肖特、卡尔-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。应用领域包括光学材料、医用包装材料、高分子类密封材料等。Flex系列可调式实时应力仪主要产品有三大系列:M系列高精度型;S系列实时型;M系列大口径拼接型1、单口径一次成像。测量时间<45s,测量速度快。2、空间分辨率高,低噪声。3、操作方...

  • 2020-10-26

    FilmSenseFS-1多波长椭偏仪使用长寿命LED光源设计,使用寿命大于5000小时,同时FS-1的设计结构没有转动部件以确保设备的稳定性。总的来讲,FS-1是一台简单易用的紧凑型设计的椭偏仪但它能提供快速、可靠的薄膜测量。FilmSense椭偏仪的优点:1、没有复杂的软件设置和维护。2、测量精度只有用椭偏仪才能达到。3、快速多次测量(多波长数据在10毫秒)且长期可靠性。4、长寿命(50000小时),不用频繁更换昂贵的灯泡,或定时校正或周期维护。5、椭偏仪对薄膜Δ参数相位...

  • 2020-10-22

    Herz气浮式被动隔振台技术参数:1、减振方式:垂直方向-HERZ减振空气弹簧,水平方向-Herz高性能水平振动隔离系统。2、空气弹簧数:4-6。3、阻尼方式:垂直方向通过节流孔进行空气阻尼,水平方向采用特殊橡胶的高性能阻尼。4、固有频率:垂直方向约1.3Hz/水平方向约0.6Hz(搭载均等大重量时)。5、调平方式:带有3个机械式自动调平传感器。6、供气方式:需要外部气源。7、所需气压:0.3~0.7MPa(3~7kgf/c㎡)※可选手动供气。8、工作台材质:顶板-磁化不锈钢...

  • 2020-10-19

    美国Microsense位移传感器提供高稳定性和线性方案、高分辨率、高带宽测量方案,用于测量硬盘驱动马达,气动轴承转子,X-Y样品台准确度,光盘,汽车零部件和机床等测量。美国Microsense位移传感器特点:1、高准确性,高灵敏性测量,高精度可达0.5nm。2、优化的近距离测量—测量距离在10微米到5毫米。3、*非接触式电容式微位移测量准确的电子感应技术,无损样品测量。4、可探测任何可传导性、接地的测量目标—表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响。5、用途广泛:金属薄片...

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